Verfahren
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Dipl.-Chem. Hubert Gleichmann
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Hydrothermalsynthese und Flüssigphasenepitaxie zur Herstellung kristalliner Substrate und Deposite unter extremen Bedingungen

GaPO4-Kristallscheiben für Hochtemperatur-
sensoren hergestellt durch Flüssigphasen-
epitaxie auf orientierten Quarzsubstraten
(Zusammenarbeit mit Micro-Hybrid
Elektronic GmbH)

Kristalle des Zeoliths ZSM 5

Die Züchtung von keramischen und einkristallinen Schichtsystemen unter extremen Bedingungen bezüglich Temperatur, Druck und aggressiven Lösungssystemen für technische Applikationen erfordert eine teure anlagenspezifische Ausrüstung sowie umfangreiche Erfahrungen im Umgang mit den chemischen Komponenten und der Anlagen- und Regelungstechnik.

Unser Leistungsprofil

  • Entwicklung und Produktion von:
    • neuen piezoelektrischen Materialien mit Schichtstrukturen
    • einkristallinen Mikroschichten als auch Mehrschichtsystemen mittels Flüssigphasenepitaxie
    • kombinierten keramischen und kristallinen Schichtsystemen
    • neuen keramischen Komponenten mit polykristallinen Strukturen
    • verschleißarmen keramischen Schichtsystemen
  • Züchtung von Einkristallen mit definierten Dotierungen


  • Durchführung von Versuchszüchtungen und Reaktionen unter hydrothermalen Parametern:
    • bis zu 400 °C und 1500 bar
    • unter extremen Bedingungen im basischen als auch sauren Medium
    • in Autoklaventechnik mit Edelmetall- oder PTFE-Auskleidungen
    • in verschieden Volumina von 100 ml bis 100 l-Anlagen


    Autoklav 1,8 Liter (PARR INSTRUMENTS) Einkristall von Quarz SiO2 (Al-dotiert)