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Dipl.-Ing. Henry Ludwig
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Hochreine Al2O3 Membranen für kapazitive Drucksensoren


Kapazitive keramische Drucksensorelemente werden als Elementarsensoren für Druckaufnehmer und Druckmessumformer in den verschiedensten Bereichen eingesetzt, so z.B. in der chemischen Verfahrenstechnik und in der Vakuumtechnik. Die Funktion beruht auf dem kapazitiven Messprinzip. Auf einem starren Grundkörper sind zwei Elektroden aufgebracht, von denen die innere die Messelektrode, die äußere die Referenzelektrode bildet. Darüber befindet sich in geringem Abstand auf einer druckempfindlichen keramischen Membran die gemeinsame Gegenelektrode. Zur Erhöhung der Korrosionsbeständigkeit und zur Verbesserung des Relaxationsverhaltens des Sensors ist der Einsatz hochreiner Al2O3-Werkstoffe (Al2O3-Gehalt ≥ 99,9 %) als Membranmaterial notwendig.


Unsere Membranen zeichnen sich aus durch:
  • Korrosionsbeständigkeit
  • höchste Festigkeit
  • extreme Überlastfestigkeit

Technische Parameter

Eigenschaften Einheit Al2O3 - Membran
Al2O3- Gehalt Ma % 99,9
Dichte g/cm3 3,98
Biegefestigkeit (Doppelring) MPa 520
Vickers Härte (HV) Prüflast 100p kp/mm2 2000
E- Modul (E) GPa 380
Heliumdichtigkeit mbar · l/s 10-12
Weibull (m)   15
TWB °C 180
therm. Ausdehnungskoeffizient 10-6/K 8,5
Ebenheit µm 4
Oberflächengüte Ra µm ≤ 0,3

Gefüge Al2O3 - Membran